PECVD-Ofensystem
Bei diesem Produkt handelt es sich um eine mittelgroße, aufschiebbare PECVD-Anlage. Dieses PECVD-Rohrofensystem ist mit einer Plasma-HF-Stromversorgung, einem Dreiwege-Massenstrom-Gasmischsystem (mit Bereichen von 1–100 SCCM, 1–200 SCCM und 1–200 SCCM), einem offenen Rohrofen mit 60 mm Durchmesser (mit Vakuumflansch und Verbindungsrohren) und einer mechanischen Pumpe ausgestattet.
Produktinformationen
| Produktmodell | Schiebe-PECVD-Rohrofensystem – OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| Hauptproduktparameter | Stromversorgung: 220 V 50/60 Hz; Nennleistung: 3,1 kW; Maximale Betriebstemperatur: 1200 °C (<0,5 h); Dauerbetriebstemperatur: ≤1100 °C; Empfohlene Heizrate: ≤10°C/min; Länge der Heizzone: 440 mm; Thermoelement: K-Typ |
| Hauptmerkmale | Mit der HF-Stromversorgung kann eine Plasmaverstärkung erreicht und die experimentelle Temperatur deutlich gesenkt werden. Ein schneller Temperaturanstieg und -abfall kann durch Verschieben des Ofenkörpers erreicht werden. die Spannung des Films kann durch die Frequenz der HF-Stromversorgung gesteuert werden; die Stöchiometrie kann durch Prozessanpassung gesteuert werden; Verschiedene Materialien wie SiOx, SiNx, SiOxNy und (a-Si:H) können abgeschieden werden |
| Heizelement | Draht aus Eisen-Chrom-Aluminium-Legierung 0Cr21Al6Nb |
| Ofenrohrgröße | Quarzrohrdurchmesser optional: Φ60 |
| Temperaturkontrollsystem | Enthält einen YD858-Temperaturregler; PID-Steuerung und selbstoptimierende Anpassung, intelligente programmierbare 50-Segment-Steuerung, mit Übertemperatur- und Burnout-Alarmfunktionen; Genauigkeit der Temperaturregelung: ±1℃ |
| Plasma-HF-Stromversorgung | 300 W HF-Netzteil; Ausgangsleistung: 0 ~ 300 W einstellbar; HF-Frequenz: 13,56 MHz; Automatischer Abgleich; Geräuschpegel < 50 dB; Kühlmethode: Luftkühlung; Eingangsspannung: 180 ~ 250 V |
| Vakuumdichtende Flanschschnittstelle | Standardkonfiguration: ein Paar Vakuumflansche aus Edelstahl und Hochtemperatur-Silikondichtringe; die Auslassflansche sind Drei-Port-Flansche K16, KF25 und Φ8,2; Der Auslassflansch kann mit einem Faltenbalg an den KF25-Adapter und dann an die Vakuumpumpe angeschlossen werden. |
| Vakuumpumpe | Nehmen Sie die mechanische Doppel-Drehschieber-Vakuumpumpe TRP-12 an; Der Vakuumgrad kann 10-2 Torr erreichen; Das Vakuumanschlusszubehör ist mit KF25-Klemmen und Edelstahlfaltenbälgen zum Anschluss von Rohrofen und Vakuumpumpe ausgestattet |
| Gasversorgungssystem | Dreiwege-Massenstrom-Mischsystem – GYS-3Z; Stromversorgung: 220 V 50/60 Hz; Messbereiche: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; An der Frontplatte ist ein mechanisches Manometer angebracht und an das Mischrohr angeschlossen; Manometerbereich: -0,1–0,15 MPa; Mischtankgröße: Φ80*120mm; Das interne Verbindungsrohr hat einen Durchmesser von Φ6,35 |
| Ofenstruktur | Der Ofenkörper kann nach links und rechts bewegt werden, und die HF-Stromversorgung kann nach links und rechts bewegt werden. Der Ofenkörper und die HF-Stromversorgung sind auf derselben Gleitschiene installiert und verwenden dasselbe Quarzrohr. |
| Zertifizierungsstandards und Kernkomponenten | Die Kernkomponenten der gesamten Maschine entsprechen den CE-, UL-, MET- und anderen Zertifizierungsstandards. Zu den Kernkomponenten gehören elektrische Komponenten von ABB, UL-zertifizierte Drähte und Kabel, Instrumente von Omega, Yudian, Continental usw. |
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Zhejiang Nengcheng Kristallfaser Co., Ltd.
Zhejiang Nengcheng Kristallfaser Co., Ltd. wurde 2015 gegründet. Es ist ein professionelles Unternehmen, das ultraleichte, energiesparende Hochtemperaturmaterialien entwickelt und produziert und experimentelle Elektroöfen, Industrieöfen und kundenspezifische Sonderanfertigungen vertreibt. Professionell PECVD-Ofensystem Hersteller und PECVD-Ofensystem FabrikDas Unternehmen verfolgt den Grundsatz „Überleben durch Qualität, Entwicklung durch Reputation“ und die Geschäftsphilosophie „Praktikabilität, Integrität und Effizienz“. Wir sind bestrebt, Kunden in Branchen wie Keramik, Metallurgie, Elektronik, Glas und Chemie umfassende und hochwertige Ausrüstungslösungen anzubieten. Wir bieten auch Dienstleistungen wie Pulverrösten, Keramiksintern und Hochtemperaturexperimente für Universitäten, Forschungsinstitute sowie Industrie- und Bergbauunternehmen an. Gleichzeitig setzen wir uns für die strategische Entwicklung der leichten, energiesparenden und umweltfreundlichen Hochtemperatur-Aluminiumoxidfaser von Nengcheng im Bereich neuer Öfen ein und streben danach, ein international führender Anbieter von Dienstleistungen für fortschrittliche Hochtemperatur-Ausrüstung zu werden. PECVD-Ofensystem Kundenspezifisch.
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